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dc.contributor.author刘柱方zh_CN
dc.contributor.author蒋利民zh_CN
dc.contributor.author汤儆zh_CN
dc.contributor.author刘品宽zh_CN
dc.contributor.author孙立宁zh_CN
dc.contributor.author田中群zh_CN
dc.contributor.author田昭武zh_CN
dc.date.accessioned2013-06-17T01:19:04Z
dc.date.available2013-06-17T01:19:04Z
dc.date.issued2004-03-25zh_CN
dc.identifier.citation应用化学, 2004, (03): 227-230zh_CN
dc.identifier.urihttps://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/21365
dc.description.abstract运用约束刻蚀剂层技术 (CELT)在金属铜 (Cu)表面实现了三维微图形加工 ,取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板 ,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采用扫描电子显微镜 (SEM )和原子力显微镜 (AFM )对所刻蚀图案进行表征 ,证实CELT可用于金属表面三维微图形的刻蚀加工。zh_CN
dc.language.isozhzh_CN
dc.source.urihttp://epub.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YYHX200403002&dbname=CJFQ2004zh_CN
dc.subject约束刻蚀剂层技术(CELT)zh_CN
dc.subject金属铜zh_CN
dc.subject三维微加工zh_CN
dc.subject化学刻蚀zh_CN
dc.title金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工zh_CN
dc.typeArticlezh_CN


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