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基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器
Full Text
基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器.pdf (1.125Mb)
Date
2018-04-25
Author
陈雪娇
黄元庆
郑志霞
林振衡
Collections
航空航天-已发表论文
[2411]
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Abstract
为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律,确定力敏电阻的最佳布局,进一步提高了传感器的灵敏度。这种压力传感器兼具温度特性好、灵敏度高、线性度好等综合性能。
Citation
莆田学院学报,2018,25(02):38-42
URI
https://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/172213
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