硅基中红外亚波长平面光学透镜研究

Abstract

硅是现代半导体微电子科技的基石材料，同时也是一种重要的光学材料。特别是在中红外波段，由于其高折射率和高透射率的特点，在通信硅基光子学，中远红外成像等领域有着非常广泛的应用。硅基平面光学技术由成熟的半导体微电子工艺技术和微光学的交叉融合而产生，在其基础上发展了诸如波导，光子晶体，微环耦合器等一系列光学元件，微纳透镜是其中一个重要的分支。采用平面光学技术制备的新型微纳光学元件很好地对传统块体材料进行了替代，具有轻量化、阵列化、易于集成、便于大规模制造等优点，并大量应用在探测、显示、光伏等领域。然而目前对平面光学元件的基础研究还很不完善，在实际应用中也暴露了一些固有弱点，本文围绕平面微纳透镜元件，在...

Silicon is the most critical material in modern semiconductor technology, and also an important optical material because of its high refractive index and high transmission, which can find wide applications in various fields such as silicon photonics, mid/far-infrared imaging. Silicon based planar optics gains its popularity with the interaction between mature semiconductor processing technology an...